电机类型：三相同步电机
最大功率：5.45 Kw
最高转速：60000 rpm
最高频率：1000 Hz
最高电压：220 V
最大电流：5.5 A
最大扭矩：0.87 N.m
适用于晶圆加工，常用于制造芯片
